作业帮真空泵一套有哪些?
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/04/16 13:14:27
真空泵一套有哪些?
真空泵一套有哪些?
真空泵一套有哪些?
简单介绍一款：
低温真空泵 (又称低温泵、冷泵、冷凝泵)是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的容积式真空泵,是无油高真空环境获得设备.低温泵应用于半导体、集成电路、光电器件的制造工艺过程,是集成电路专用设备中的关键设备之一；低温泵也用于各种其它镀膜设备和真空应用设备中.抽速 Pumping Speeds (l/s)：For H2O 4200 For Air 1500 For H2 2500 For Ar 1200 For He 750 降温时间 Cool Down Time (min)：≤ 90 泵口法兰 Inlet Flange ( 可根据用户要求定制 ) ：ANSI 6 in.或 CF 10 in.或 ISO 200mm 低温真空泵适合应用于希望获得 10-1 Pa 至 10-9 Pa 真空度的场合,尤其适合应用于要求洁净无油和或快速抽气的场合,例如：• 溅射镀膜 • 蒸发镀膜 • 离子注入 • 分子束外延 使用以上设备的工业真空镀膜,例如：半导体与集成电路前工序、光学镀膜、太阳能电池板、光电子 器件和真空电子器件制造、平板显示器件镀膜 • 电子束设备 • 空间模拟装置 • 高能物理研究装置 • 加速器束流管 • 表面分析装置 • 质谱仪 • 真空排气装置 • 其它高真空或超高真空装置 低温真空泵的组成 低温真空泵由低温泵头、氦压缩机和金属软管三部分组成
真空泵：滑阀式、旋片式、罗茨式、往复式、水环式、喷射式六种结构