有哪些半导电薄膜在半导体工艺中经常用到哪些半导电薄膜?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/01 20:13:51

有哪些半导电薄膜在半导体工艺中经常用到哪些半导电薄膜?
有哪些半导电薄膜
在半导体工艺中经常用到哪些半导电薄膜?

有哪些半导电薄膜在半导体工艺中经常用到哪些半导电薄膜?
是指半导体薄膜?还是半导电的薄膜?
半导电薄膜只有半绝缘多晶硅薄膜.
半导体薄膜主要有外延生长的Si单晶薄膜和CVD生长的掺杂多晶硅薄膜、半绝缘多晶硅薄膜.
绝缘体薄膜主要有氧化硅薄膜、氮化硅薄膜等.
金属薄膜主要有Al、Au、NiCr等的薄膜.
工艺中用到的薄膜技术光刻胶薄膜.

太笼统了,请说具体点了!