真空镀膜蒸发溅射我是刚上手的镀膜工.做的是电子业的晶片镀膜.问下.在溅射的时候如何准确的控制膜厚.我们公司的镀膜机是比较老的那种.没有测厚仪器.全凭时间和参考记录来做.时间也要

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/06 09:43:00

真空镀膜蒸发溅射我是刚上手的镀膜工.做的是电子业的晶片镀膜.问下.在溅射的时候如何准确的控制膜厚.我们公司的镀膜机是比较老的那种.没有测厚仪器.全凭时间和参考记录来做.时间也要
真空镀膜蒸发溅射
我是刚上手的镀膜工.做的是电子业的晶片镀膜.问下.在溅射的时候如何准确的控制膜厚.我们公司的镀膜机是比较老的那种.没有测厚仪器.全凭时间和参考记录来做.时间也要自己设定.有的活对膜厚偏差要求比较高.我想问下怎样才能很好的控制膜厚.请师傅指教一下.

真空镀膜蒸发溅射我是刚上手的镀膜工.做的是电子业的晶片镀膜.问下.在溅射的时候如何准确的控制膜厚.我们公司的镀膜机是比较老的那种.没有测厚仪器.全凭时间和参考记录来做.时间也要
如此看来你的溅镀机上是没有实时监控膜厚系统,那没有太好的办法,只能通过溅镀一定厚度后测量,根据镀膜时间推算溅镀速率.不过要注意的是可能你做的厚度不一样最后测出来的速率是有一些偏差的,比如你镀50nm,和镀100nm,可能推算出来的速率就有差距,因为在开始溅镀的前期速率可能不是太稳,机器会自动调整,这样偏差可能就出来了.如果你要求精度,那么建议你多摸索几个厚度范围的溅镀速率,根据需要调整时间,另外注意不要轻易改变镀膜的参数,比如:基板温度,腔室气压,溅镀功率等.一旦这些参数改变,那么你的实际溅镀速率也会随之改变.控制膜厚精度最重要的是稳定你的工艺参数,这样才能做到重复一致.事实上溅镀还是比较稳定的,只要蒸镀参数不变,一般溅镀速率不会有太大偏差.但是也要注意维护你的设备,让它保持正常稳定运转,能不能精确控制厚度关键还在于它的工作能力.

真空镀膜蒸发溅射我是刚上手的镀膜工.做的是电子业的晶片镀膜.问下.在溅射的时候如何准确的控制膜厚.我们公司的镀膜机是比较老的那种.没有测厚仪器.全凭时间和参考记录来做.时间也要 您好,我是一个新手,请问一下溅射镀膜和蒸发镀膜有什么区别. 真空溅射镀膜机器可放几种靶材?真空溅射镀膜机器,有没有哪种是可以放几种靶材的? 真空镀膜的一些问题?PVD:物理气象沉积,离子溅射镀膜里的分子泵、规管都是干什么用的? 溅射式真空镀膜机 需要加热的是什么部分? 真空溅射镀膜机的加热部分叫什么名字 用于平板玻璃镀膜的溅射沉积真空工艺有那些? 磁控溅射镀膜与蒸发镀膜的区别 真空镀膜可以镀出不同的颜色,请问七彩色是用什么靶和什么气体镀出来的?真空镀膜可以镀出不同的颜色,请问七彩色是用什么靶和什么气体镀出来的,它属于溅射镀膜还是离子镀膜? 真空蒸镀与溅射镀膜优缺点蒸镀用的是环形电子枪加热,溅射用的是平面磁控溅射.麻烦说一下这两种镀膜方式各自优缺点 蒸发式真空镀膜机的工作原理 真空镀膜镀不上的原因溅射靶材一切完好,电源都是好的,玻璃从真空仓室出来之后,完全是玻璃原片,请各位前辈提点一二!是ITO真空镀膜,靶材已经起辉,完全没有电阻.开始的时候镀膜完全正常, 真空镀膜中,膜料的蒸发速率对膜本身有什么影响?比如蒸铝.有机物的镀膜为什么要抽真空? 真空镀膜的结构谁知道真空镀膜机的结构,有没有离子蒸发式镀膜机的结构图呢,我最主要想知道组装的大致结构和各部分的部件位置, 推荐几本关于真空镀膜的好书!pvd最好是关于光学镀膜玻璃的! 真空溅射镀膜机镀铝靶我的真空溅射镀膜机镀Ag时正常,用兆欧表测绝缘电阻为0.1兆欧.换铝靶后,绝缘电阻为0.3兆欧,功率加不上去,从小到大逐步调节功率,每次溅射正常,到要求值后溅射正常.三 真空镀膜机蒸发的时候抵不住怎么办, 求高手帮我详细讲解下磁控真空溅射镀膜Lab指的含义和使用范畴,