真空镀膜机抽气慢我司使用的是肇庆市振华镀膜机,单扩散泵.现在的问题是抽气变慢,放进半炉多的产品,要求是2.0-2,竟然抽1一个多小时,之前还有过2小时多的!但换了产品满满一炉,抽到2.0-2要20

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/04/29 06:15:23

真空镀膜机抽气慢我司使用的是肇庆市振华镀膜机,单扩散泵.现在的问题是抽气变慢,放进半炉多的产品,要求是2.0-2,竟然抽1一个多小时,之前还有过2小时多的!但换了产品满满一炉,抽到2.0-2要20
真空镀膜机抽气慢
我司使用的是肇庆市振华镀膜机,单扩散泵.现在的问题是抽气变慢,放进半炉多的产品,要求是2.0-2,竟然抽1一个多小时,之前还有过2小时多的!但换了产品满满一炉,抽到2.0-2要20分钟,比起别的炉子也多了5分钟左右,我已经用酒精做过漏气测试,没发现哪里漏气.不知道是什么问题,望高手解答!

真空镀膜机抽气慢我司使用的是肇庆市振华镀膜机,单扩散泵.现在的问题是抽气变慢,放进半炉多的产品,要求是2.0-2,竟然抽1一个多小时,之前还有过2小时多的!但换了产品满满一炉,抽到2.0-2要20
从粗抽开始检查,如果抽的时间就长,那就是滑阀泵有问题,或是前面的管道有漏气,如果粗抽没问题就是扩散泵的事了,一般是清理泵腔换掉泵油,不过一般有时有些这样的问题都不是几句话可以讲清楚的,大家都知道如何检漏,可每次遇到的往往都是一点小事情,结果都花了很多的时间才能找到原因!祝你好运了!