同一硅片测试的电阻率与所加测试电流有无关系?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/04/27 23:41:56

同一硅片测试的电阻率与所加测试电流有无关系?
同一硅片测试的电阻率与所加测试电流有无关系?

同一硅片测试的电阻率与所加测试电流有无关系?
这是一个物理问题吧,电阻是不会随着电流和电压改变的.所以一片硅片的电阻是一定的,但是在测试的时候只是取一个点,每次测试不可能测的是同一个点,所以有偏差.

用不同电流测量电阻率测量结果会有区别的,因此标准中已经规定的测量电流的大小了
根据国标GB/T 1551-2009,不同电阻率硅试样所需要的电流值如下表所示:
电阻率,Ω.cm电流,mA推荐的园片测量电流值
<0.03≤100100
0.03~0.30<10025
0.3~3≤102.5
3~30≤10.25
30~300...

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用不同电流测量电阻率测量结果会有区别的,因此标准中已经规定的测量电流的大小了
根据国标GB/T 1551-2009,不同电阻率硅试样所需要的电流值如下表所示:
电阻率,Ω.cm电流,mA推荐的园片测量电流值
<0.03≤100100
0.03~0.30<10025
0.3~3≤102.5
3~30≤10.25
30~300≤0.10.025
300~3000≤0.010.0025

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