列举几种集成电路典型工艺,工艺上经常提到0.18,0.25指的是什么

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/05 20:31:03

列举几种集成电路典型工艺,工艺上经常提到0.18,0.25指的是什么
列举几种集成电路典型工艺,工艺上经常提到0.18,0.25指的是什么

列举几种集成电路典型工艺,工艺上经常提到0.18,0.25指的是什么
典型工艺:抛光、氧化、扩散、光刻、外延生长、气相淀积等
0.18、0.25是指工艺上刻蚀的最小线条宽度