真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理?

来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/05/05 18:39:20

真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理?
真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理?

真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理?
离子镀膜其实是离子溅射镀膜,
对于导电靶材,使用直流偏压电源；非导电靶材,使用脉冲偏压电源.
你这个多弧离子镀膜机,可能还需要直流电弧电源或脉冲电弧电源

偏压电源其实就是在阴极和样品所在位置的阳极之间形成偏压电场,一般是阴极加负高压.阴极表面的自由电子在电场作用下定向加速发射,发射电子轰击气体分子,使之电离,并且气体被驱出的电子被电场加速,继续电离其他气体分子,连续不断,形成雪崩效应,气体被击穿,形成恒定的电离电流.此时离子也被加速,轰击靶材,将靶材中的原子驱除出表面,并沉积在样品表面.

电弧电源有点类似日光灯启辉器和镇流器,靠电弧加热电离气体形成等离子体,而不是电子加速撞击.

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