真空加热是以什么为介质加热的

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/04/27 14:09:48

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真空加热是以什么为介质加热的
真空加热以辐射加热,辐射不需要介质
在真空加热中,可以采用电阻加热,感应涡流加热,激光辐照加热等方式.传热基本采用辐射传热和传导传热.举例如下:
1.s形及S级联形状的金属板或石墨板作为加热电阻,热量通过辐射传给衬底或工件.
2.采用碳化硅包覆的石墨基座,在交变电场内靠感应涡流加热,热量可通过传导传给衬底.如果电场在真空罩外施加,要求真空罩为绝缘体.
3.大功率激光辐照加热.
目前有微波加热,射频加热,感应加热

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